半導體行業(yè)超純水系統(tǒng)介紹:
●概述
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。
●設備特點
電子工業(yè)超純水設備通常由多介質過濾器,活性碳過濾器,精密過濾器等構成預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。水箱設有液位控制系統(tǒng)、水泵設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用模塊化組合PLC,及通信遠程輸送至中控室上位機,實現(xiàn)現(xiàn)場就地和集中控制兩種操作方式,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使該設備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
●應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品。
超純水系統(tǒng)
本文標題:半導體行業(yè)超純水系統(tǒng)
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