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半導體生產用去離子水設備使用注意事項

1、在設備和供電線路的周圍,絕對不能存在易燃或易爆的危險品。

2、設備線路和電器設備如果出現(xiàn)故障,對于它的維修和調整,最好找專業(yè)維修人員進行操作。

3、不可在水路不通暢的時候打開設備高壓泵和增壓泵,否則會發(fā)生暴管的情況。

4、設備內部管道如果漏水,不可再進行操作,務必把電源切斷,再做處理。

5、開啟設備前要確保機器上的設備和元件都是干燥的。

6、半導體生產用去離子水設備高壓泵和增壓泵在沒有水的時候絕對不可運轉。

7、在原水的壓力不足的時候,不可對設備高壓泵進行強制的啟動。

8、關機的時候要注意關閉原水增壓泵前要先關閉高壓泵。

網站欄目:半導體生產用去離子水設備使用注意事項
本文URL:http://chinadenli.net/hangye/sclsb/n9137.html

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