在半導體制造技術中,通過一系列的光刻、刻蝕、沉積、離子注入、研磨、清洗等工藝形成具有各種功能的半導體芯片,然后將所述半導體芯片進行封裝和電性測試,并最終形成終端產品。目前,在半導體芯片的制造過程中,會產生大量的工業(yè)廢水。今天,小編就給大家介紹下芯片生產廢水處理工藝的步驟吧。
芯片生產廢水處理工藝方法,操作步驟:
步驟1:廢水的數(shù)值PH值為4~6狀態(tài)下,使用片狀石灰鈣固定塊,孔徑為0.3-0.5,作為吸附物的載體,并在上述片狀石灰鈣固定塊覆蓋固定網。
步驟2:在池內加入中和劑和混凝劑,再次測試PH值如果為達到4,將輔助混凝劑導入池內,再導入冷凝效應器中,完成混凝后以厭氧狀態(tài)將其導出。
步驟3進行快速凝聚反應,其中輔凝劑加入后靜置2小時。
步驟4:將廢水噴射到蒸發(fā)器的中進行蒸發(fā)處理,廢水全部脫水為氣態(tài),蒸發(fā)時間為12~16h,蒸發(fā)溫度為180~220℃。
步驟5:導入蒸發(fā)器中得廢水濃度為允許上限PH在4,一旦達到停止繼續(xù)放入廢水。
步驟6:廢氣導入冷凝塔,噴淋霧狀中和劑,中和劑溫度在10℃~12℃。
步驟7:完成冷凝,剩余的廢氣進入等離子反應器中進行電離處理。
步驟8:冷凝塔抽取的反應水,導入最終反應池中,導入廢水處理劑,該廢水處理劑包括凈水劑聚合氯化鋁共聚物和芬頓試劑;以廢水處理劑的總重量為基準,所述聚合氯化鋁共聚物共聚物的含量為50-70wt%。
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