在集成電路生產過程中如果用水點存在雜質會給器件帶來一系列不利影響。所以為了確保產品質量，必須采用超純水系統(tǒng)并結合該產品的生產特點及用水標準采用相適應的純水制取工藝。

集成電路工廠純水制備系統(tǒng)應根據(jù)原水水質及工藝生產設備要求的超純水水質來確定，一般由下列4部分組成：預處理系統(tǒng)、一次純水處理系統(tǒng)、超純水制取系統(tǒng)、回收水系統(tǒng)。

集成電路清洗超純水設備預處理重要性

預處理的目的是去除水中所含的懸浮物、膠體、高分子有機物等雜質。需要指出的是，活性炭對去除TOC有非常好的效果，但它也往往成為微生物的滋生地。因此，在預處理系統(tǒng)中采用活性炭處理時，應將活性炭過濾的進水調成酸性，以防止微生物滋生。

新聞名稱：集成電路清洗超純水設備預處理重要性
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